真空干燥机对于维持清洁过程至关重要,混合真空干燥机是两种成熟技术的混合体:真空干燥和异丙醇(IPA)干燥,干燥机在有效的闭环过程中利用了两者的特性。远程产生超洁净蒸汽,然后将其引入密封的干燥室,闭环系统允许新鲜的IPA蒸汽冲洗待干燥的表面,渗透表面区域并吸收水分。低压真空从密封室中吸取任何残留的水分并远离被干燥的产品。
在干燥循环结束时,用氩气或氮气回填腔室,以便从几乎惰性的气氛中除去清洁的干燥产品。